是否进口:否 | 产地:合肥 | 加工定制:是 |
品牌:日新(risine) | 型号:CVD-06/50/2 | 最大电压:380 V |
功率:6000W | 额定温度:1300 ℃ | 主要用途:用于CVD或石墨烯工艺、碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理 |
产品认证:ISO9001 |
应用领域:
CVD系列真空气氛管式炉(电炉、工业电炉、实验电炉、高温电炉、热处理工业电炉)广泛适用于高、中、低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。
主要特点:
CVD系列真空气氛管式炉(电炉、工业电炉、实验电炉、高温电炉、热处理工业电炉)采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛。可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度;耐火,保温材料全部采用***的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低; CVD系列真空气氛管式炉(电炉、工业电炉、实验电炉、高温电炉、热处理工业电炉)加热元件采用U型硅铝(碳)棒或***电阻丝;温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。技术指标:
设备型号 | CVD(D)-06/60/3 | CVD(Z)-06/30/1 | CVD(G)-07/50/2 | CVD(G)-09/50/1 | |
温度 | 1050℃ | 1300℃ | 1650℃/1000℃ | 1650℃ | |
使用温度 | RT—1000℃ | 850-1300℃ | 1000-1600℃ | 1000-1600℃ | |
控制精度 | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | |
温区个数 | 3个 | 1个 | 2个 | 1个 | |
加热区长度 | 600mm | 300mm | 500mm(300mm/200mm) | 500mm | |
炉管尺寸 | ф60(外径)×1400(mm) | ф60(外径)×1000(mm) | ф70(外径)×1450(mm) | ф90(外径)×1450(mm) | |
炉管材料 | 石英管 | 刚玉管 | 刚玉管 | 刚玉管 | |
发热元件 | 进口电阻丝 | 电阻丝/硅碳棒 | 硅钼棒、电阻丝 | 硅钼棒 | |
装机功率 | 4.5KW | 3kw/8kw | 10kw | 12kw | |
CVD-□□□ 选件功能 | /□ | /□ |
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V |
| 真空系列:单级机械泵+扩散泵机组 | |||
| Q | 气氛系统:浮子流量计;进口/国产质量流量计 | |||
备注: CVD系列真空气氛管式炉(电炉、工业电炉、实验电炉、高温电炉、热处理工业电炉)以上设备系统具备冷态极限真空6.67×10-2Pa接口条件;其他特殊工艺要求的订货时请说明。 具体详细参数请参照合肥日新高温有限公司企业门户网站: |